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半導(dǎo)體芯片可靠性測試項目及方法

作者: 發(fā)布日期:2024-06-17

芯片可靠性測試主要分為環(huán)境試驗和壽命試驗兩個大項,可靠性測試是確保芯片在實際應(yīng)用中能夠穩(wěn)定運行和長期可靠的關(guān)鍵步驟。一般來說,可靠度是產(chǎn)品以標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)條件下,在特定時間內(nèi)展現(xiàn)特定功能的能力,可靠度是量測失效的可能性,失效的比率,以及產(chǎn)品的可修護性。根據(jù)產(chǎn)品的技術(shù)規(guī)范以及客戶的要求,我們可以執(zhí)行MIL-STD、JEDEC、IEC、JESD、AEC、andEIA等不同規(guī)范的可靠度的測試。

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一、HTOL:高溫壽命試驗

高溫壽命試驗也叫老化測試,是一種常用的芯片可靠性測試方法,通過將芯片在高溫環(huán)境下長時間運行,以模擬實際使用中的熱應(yīng)力和老化過程。這種測試有助于評估芯片在高溫環(huán)境下的穩(wěn)定性和長期可靠性。

在進行熱老化測試時,芯片通常被放置在具有恒定高溫的熱槽中,持續(xù)運行一段時間,常見的測試溫度范圍為100°C至150°C。測試期間,芯片的電氣特性、性能和可靠性會被監(jiān)測和記錄。

通過熱老化測試,可以檢測到由于熱擴散、結(jié)構(gòu)破壞或材料衰變等原因引起的故障。這些故障可能包括電阻變化、電流漏泄、接觸不好、金屬遷移等。通過分析測試結(jié)果,可以評估芯片在長期高溫環(huán)境下的可靠性,并為改進設(shè)計和制造過程提供參考。

 

二、TCT: 高低溫循環(huán)試驗

溫度循環(huán)測試旨在評估芯片在溫度變化環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。這種測試模擬了實際使用中由于溫度變化引起的熱應(yīng)力和材料疲勞。在溫度循環(huán)測試中,芯片會在不同溫度之間進行循環(huán)暴露。通常,測試會在兩個或多個不同的溫度點之間進行切換,例如從低溫(如-40°C)到高溫(如125°C)。每個溫度點的暴露時間可以根據(jù)需要進行調(diào)整。

通過溫度循環(huán)測試,可以檢測到由于溫度變化引起的結(jié)構(gòu)應(yīng)力、熱膨脹差異、焊點疲勞等問題。這些問題可能導(dǎo)致接觸不好、焊連斷裂、金屬疲勞等故障。測試期間,芯片的電氣特性、性能和可靠性會被監(jiān)測和記錄。

 

 三、EFR/ELFR:早期失效壽命試驗

早期失效壽命試驗旨在評估芯片在其使用壽命的早期階段內(nèi)是否存在任何潛在的故障或失效。這種測試通常在芯片制造過程中或產(chǎn)品開發(fā)的早期階段進行。它涉及加速測試和高度應(yīng)力環(huán)境下的芯片運行。通過施加高溫、高電壓、高頻率等條件,使芯片在短時間內(nèi)暴露于更嚴(yán)苛的環(huán)境,以模擬實際使用中的應(yīng)力情況。早期失效壽命試驗的目標(biāo)是提前發(fā)現(xiàn)潛在的故障和不佳,以便進行適當(dāng)?shù)母倪M和調(diào)整。通過分析測試結(jié)果,可以確定芯片設(shè)計和制造過程中的弱點,并采取相應(yīng)措施來提高芯片的可靠性和壽命。

 

四、DT:跌落測試

跌落測試用于評估芯片在物理沖擊和振動環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。這種測試模擬了實際使用中可能發(fā)生的跌落或震動情況。在跌落測試中,芯片會被安裝在特制的跌落測試設(shè)備上,并進行控制的跌落或震動操作。測試設(shè)備通常會產(chǎn)生嚴(yán)格定義的沖擊或振動力度、方向和頻率,以模擬實際使用中可能遇到的物理應(yīng)力。

通過跌落測試,可以檢測到由于跌落或震動引起的連接斷裂、結(jié)構(gòu)損壞、材料破裂等問題。測試期間,芯片的電氣特性、性能和可靠性會被監(jiān)測和記錄。分析跌落測試結(jié)果可以評估芯片在實際使用條件下的抗沖擊和抗振動能力,并提供改進設(shè)計和制造過程的參考。此外,跌落測試還有助于確定芯片在運輸、裝配和實際使用中的適應(yīng)性和耐久性。


五、UHAST:加速應(yīng)力測試

芯片的UHAST測試是通過施加限值的電壓和溫度條件來加速芯片在短時間內(nèi)的老化和故障模式。具體的UHAST測試條件,包括高溫、高濕、壓力和偏壓值,以下是一些常見的UHAST測試條件的參考數(shù)值。

高溫:通常在大約100°C至150°C的溫度范圍內(nèi)進行,具體溫度取決于芯片的設(shè)計要求和應(yīng)用環(huán)境。有時候,更高的溫度也可能被用于特殊情況下的測試。

高濕度:一般的UHAST測試中,相對濕度通常保持在百 分之85至百 分之95之間。高濕度條件下會加劇芯片的老化和腐蝕。

壓力:測試期間施加的壓力可以通過測試裝置或封裝環(huán)境來實現(xiàn)。壓力的具體數(shù)值通常在2大氣壓(atm)至20大氣壓之間,具體數(shù)值取決于測試要求和芯片的應(yīng)用場景。

偏壓:偏壓通常指施加在芯片引腳或器件上的電壓。具體的偏壓數(shù)值取決于芯片的設(shè)計和應(yīng)用需求。在UHAST測試中,偏壓可以用于加速故障模式的產(chǎn)生,例如漏電流、擊穿等。

 

六、BLT:偏壓壽命試驗

BLT用于評估MOS FET(金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管)等器件在長期偏置和高溫環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。在BLT偏壓壽命試驗中,芯片會被加以恒定的偏置電壓,并暴露于高溫環(huán)境中。偏置電壓通常是根據(jù)具體芯片規(guī)格和應(yīng)用需求進行設(shè)定的。在持續(xù)的高溫和偏置條件下,芯片的特性、性能和可靠性將被監(jiān)測和記錄。

BLT測試的目的是檢測由于偏壓和高溫環(huán)境引起的偏壓老化效應(yīng)。這些效應(yīng)可能導(dǎo)致硅介質(zhì)的損失、界面陷阱的形成和能帶彎曲等問題。測試結(jié)果可以用于評估芯片在長期使用和高溫環(huán)境下的可靠性,并為設(shè)計和制造過程的改進提供參考。七、BLT-LTST:低溫偏壓壽命試驗BLT-LTST用于評估MOS FET等器件在低溫、長期偏置和高壓環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。在BLT-LTST低溫偏壓壽命試驗中,芯片會被暴露于低溫環(huán)境,并施加恒定的偏置電壓和高壓。低溫條件通常在-40°C至-60°C范圍內(nèi)設(shè)定,具體取決于芯片規(guī)格和應(yīng)用需求。在持續(xù)的低溫、偏置和高壓條件下,芯片的特性、性能和可靠性將被監(jiān)測和記錄。BLT-LTST測試的目的是檢測由于低溫偏壓和高壓環(huán)境引起的可靠性問題。這些問題可能包括硅介質(zhì)的損失、漏電流增加、接觸不好等。通過分析測試結(jié)果,可以評估芯片在低溫和偏壓環(huán)境下的可靠性,并提供改進設(shè)計和制造過程的參考。

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